MEMS原子气室

国产MEMS 碱金属原子气室是量子传感与精密测量领域的核心器件，采用微机电系统 (MEMS) 工艺集成高纯度碱金属于微型密封腔体内，结合抗弛豫镀层工艺，显著提升原子自旋相干时间。该产品具有体积小 (1-4mm) 、功耗低、稳定性高等特点，兼容激光泵浦与磁共振探测，为原子磁力计、量子陀螺仪、原子钟等高端设备提供关键支撑。

产品名称：MEMS 原子气室；

具体参数

名称	参数	名称	参数
产品名称	MEMS原子气室	最小尺寸	4mm4mm4mm(可定制)
气压	0-760torr	碱金属	铷、铯、铷

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